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扫描电子显微镜的优点介绍

发布时间:2025/3/631

扫描电子显微镜的优点介绍

        电子显微镜技术的应用是以光学显微镜为基础的。光学显微镜的分辨率为0.2μm,透射电子显微镜的分辨率为0.2nm,即透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大1000倍。次。
        扫描电子显微镜的优点介绍
        扫描电子显微镜的电子束不穿过样品,而是尽可能将电子束聚焦在样品的一小部分,然后逐行扫描样品。入射电子导致二次电子在样品表面被激发。显微镜观察从每个点散射的电子。放置在样品旁边的闪烁晶体接收这些二次电子,放大后调制显像管电子束的强度,从而改变显像管荧光屏上的亮度。图像为三维图像,反映了试样的表面结构。显像管的偏转线圈与样品表面的电子束同步扫描,使显像管的荧光屏显示样品表面的形貌图像,类似于工业电视的工作原理.由于这种显微镜中的电子不必通过样品,因此电子加速时的电压不必很高。
        扫描电子显微镜的分辨率主要由样品表面电子束的直径决定。放大倍数是显像管上的扫描幅度与样品上的扫描幅度之比,可以从几十倍到几十万倍连续变化。扫描电子显微镜不需要薄样品;图像具有很强的立体感;它可以利用电子束与物质相互作用产生的二次电子、吸收电子和X射线等信息来分析物质的成分。
        扫描电子显微镜的制造是基于电子与物质的相互作用。当一束高能入射电子轰击材料表面时,激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子以及可见光、紫外光和红外光。该区域产生的电磁辐射。同时,还可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。
        

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